光學(xué)微電子無(wú)塵凈化車(chē)間設(shè)計(jì)布局與裝修要求
時(shí)間：2021-06-24
光學(xué)微電子無(wú)塵凈化車(chē)間目前主要應(yīng)用于工業(yè)半導(dǎo)體，電子行業(yè)等，微電子超凈無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)理念比較其他行業(yè)要求較高。下面簡(jiǎn)要介紹光學(xué)微電子行業(yè)無(wú)塵凈化車(chē)間的設(shè)計(jì)布局與裝修要求：
電子無(wú)塵凈化車(chē)間
一、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車(chē)間平面布局要求
1. 凈化車(chē)間潔凈生產(chǎn)區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)
2. 無(wú)塵生產(chǎn)輔助用房：潔凈等級(jí)設(shè)置為萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)，一般包括人流進(jìn)出潔凈用房，物料進(jìn)出清潔區(qū)和部分車(chē)間辦公生活區(qū)等。
3. 超凈凈化車(chē)間管理區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為十萬(wàn)級(jí)或三十萬(wàn)級(jí)，一般包括辦公室、會(huì)議室、值班室和休息區(qū)。
4. 車(chē)間生產(chǎn)專用設(shè)備區(qū)：該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃?jí)沒(méi)有要求，但要求與凈化車(chē)間設(shè)置有效的物理或空氣隔離，本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機(jī)房、電氣用房、純水間、生產(chǎn)用氣間。
電子無(wú)塵凈化車(chē)間
二、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車(chē)間裝修要求
1. 車(chē)間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上人，對(duì)承重要進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。
2. 車(chē)間墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場(chǎng)地的占地面積，該彩鋼板在安裝時(shí)需要進(jìn)行接地處理，以到達(dá)排放靜電的功能。
3. 車(chē)間地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無(wú)塵車(chē)間內(nèi)須對(duì)上述兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。
